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高端精密金屬蝕刻制造商

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掩膜版生產流程
發布日期:2022-06-10

掩膜版蝕刻

什么是掩膜版?掩膜版就是微電子制造過程中通過圖形轉移工具或母版,承載圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體。掩膜版又稱光罩,光掩膜、光刻掩膜版、掩膜版等,掩膜版廣泛應用于電子產品、家電、汽車等行業領域,其中主要的客戶是半導體廠商英特爾、三星、臺積電以及京東方、華星光電等知名企業。

掩膜版分基板和遮光膜兩部分,卓力達作為蝕刻工藝的廠家之一,成功實踐客戶各種掩膜版蝕刻需求,那么掩膜版生產流程是怎么樣的呢?

1.客戶確定圖形后,通過對專業設計軟件進行二次編輯和處理。

2.依據版圖設計數據分層。運算,根據工藝需求對相應的參數進行確定和格式轉化。

3.掩膜版的制造采用的是正性光刻膠,通過光刻機中的激光作用需要曝光區域的光刻內部發生交聯反應。

4.通過曝光后在顯影液的作用下未曝光區域進行保留并保護膜層。

5.保護膜層的部分會保留圖形的樣式,再通過蝕刻液進行腐蝕溶解成型。

6.溶解成型后再通過脫模工序進行脫模液除去多余的光刻膠。

7.利用清水洗凈掩膜版兩面污染物。

8.完成以上步驟后,再進行尺寸測量得到準確的參數值。

9.接下來就是檢測掩膜版的產品是否滿足客戶定制需求,對圖形、排名、傷痕、圖形邊緣等全面檢測和確認良品。

10.對良品進行包裝,封箱貼好各種參數值,批次,數量等,最終進行發貨。

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