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蝕刻速度和側蝕量是化學蝕刻加工過程中最為重要的參數，側蝕量決定了化學蝕刻加工的精度，側蝕量越小，加工精度越高，使用范圍就越寬，反之，加工精度越低，使用范圍縮小。在多種金屬過程中，銅是側蝕量最小的，鋁是側蝕量最大的。化學蝕刻加工中蝕刻速度決定了蝕刻加工周期的長短，蝕刻速度越快，蝕刻加工周期越短、生產效率越高。蝕刻速度并不是越快越好，主要有以下幾個原因：

1. 蝕刻速度越快，在單位時間內對金屬的蝕刻量越大，產熱量增大，腐蝕液溫度變化快，不利于蝕刻速度的恒定。

2. 蝕刻速度越快，對于深度要求很精確的金屬加工不容易控制

3. 蝕刻速度越快，經蝕刻后的金屬表面質量越低，明顯影響蝕刻表面的平滑度和光澤度

4. 高的蝕刻速度往往都需要高濃度的腐蝕劑濃度、高腐蝕性的化學試劑、高的蝕刻溫度等。

針對蝕刻量較大的材質，采用“先快后慢”就是先用蝕刻速度較快的腐蝕液進行一次蝕刻，當蝕刻深度接近設計要求值后，再換用蝕刻速度較慢的腐蝕液進行精度蝕刻，盡管增加了工序，但縮短了加工時間，同時也保證了蝕刻精度和表面光澤度。